Research Projects

• [1]10. LDI机仿生柔顺飞拍对位系统研制，技术开发委托项目，2023,
• [2]9. LDI机数字光刻精度自标定系统研制，技术开发委托项目，2024,
• [3]8. LDI机数字光刻精度自愈系统研制，技术开发委托项目，2025,
• [4]7. LDI机数字光刻质量智能检测方法研究，XXXX重点实验室开放基金，2025-2026,
• [5]6. 广东省科协青年科技人才培育项目，10万，2025-2026,
• [6]5. XXXX，技术开发委托项目，450万，2025-2027,
• [7]4. 性能图谱驱动的LDI机柔顺飞行机构创成理论与设计方法，广东省自然科学基金面上项目，10万，2025-2027,
• [8]3. LDI机数字掩模自适应分块及自检算法开发，技术开发委托项目，2026,
• [9]2. 面向半导体先进封装XXXX对焦系统研发，技术开发委托项目，100万，2026-2027,
• [10]1. 混合键合XXXX对位系统研制，技术开发合作项目，450万，2026-2028,
• [11]压电驱动空间柔顺并联纳米定位平台性能图谱研究,