电子制造装备机构学与视觉

• (1) 精密运动生成：柔顺机构、仿生机构、并联机构，压电驱动、复合驱动，纳米定位平台。

  (2) 精密运动测量：视觉引导亚微米级精度对位，微米级视觉系统精度重建，微视觉运动追踪。

  (3) 精密运动控制：柔顺机构柔顺控制，刚柔耦合运动控制，宏微复合运动控制。

  (4) 工业应用案例：激光直接成像(LDI)机、曝光机，混合键合设备，点胶机，激光自动对焦TGV检测设备。