|
个人信息Personal Information
硕士生导师
教师拼音名称：shenyijiang
出生日期：1976-05-16
入职时间：2014-04-17
所在单位：自动化学院
学历：博士研究生毕业
性别：男
学位：哲学博士学位
在职信息：在职
-
光刻系统成像和光学临近效应校正，图像合成，图像恢复技术，以及偏微分方程的数值计算;
光刻系统的矢量成像模型、反演光刻优化算法、二值图像的半正定恢复和偏微分方程的有限差分算法;
光刻成像系统、分辨率增强技术(RET)、光学临近校正(OPC)算法和机器学习
- Fast implicit active contour model for inverse lithography.Optics Express,2021,29(7):10036-10047.
- 14. Y. Shen* and E. Y. Lam, “Simultaneous photometric correction and defect detection in semiconductor manufacturing,” in Machine Vision Applications in Industrial Inspection XIV, volume 6070 of Proceedings of the SPIE, pp. 133–142, 2006..
- 13. Y. Shen*, E. Y. Lam, and N. Wong, “Binary image deconvolution with positive semidefinite programming,” in IAENG International Workshop on Imaging Engineering, pp. 537–542, 2006. [Best Student Paper Award].
- 12. Y. Shen*, E. Y. Lam, and N. Wong, “Restoration of binary images using positive semidefinite programming,” in IEEE Tencon, 2006..
- 11. Y. Shen*, E. Y. Lam, and N. Wong, “Binary image restoration by signomial programming,” in OSA Topical Meeting in Signal Recovery and Synthesis, SMA3, 2007..
- 10. Y. Shen*, E. Y. Lam, and N. Wong, “Interconnect thermal simulation with higher order spatial accuracy,” in IEEE Asia Pacific Conference on Circuits and Systems, pp. 566–569, 2008..
- 暂无内容
- 接收机工作特性曲线与曲面的统计特性、快速算法以及在变点检测与基因组数据分析中的应用(角色：主要成员；国家自然科学基金）。,
- 多层复杂结构器件内部界面轮廓的高精度光学三维干涉透视测量理论、系统及典型应用(角色：主要成员；国家自然科学基金）。,
- 基于盲信号分离的树脂复合材料内部体应变场分布透视测量仪器及应用(角色：主要成员；国家自然科学基金重大仪器专项）。,
- 面向LED 投影光刻技术的掩膜优化方案和软件系统(时段：2016.4-2018.3；金额：20.0万；角色：项目负责人；广州市科技创新）。,
- 基于矢量模型的逆向掩模优化水平集理论和算法(时段：2013.4-2016.3；金额：10.0万；角色：项目负责人；广东省自然科学基金）。,
- 基于窄带水平集的逆光刻理论和算法研究，(时段：2016.01-2018.12；金额：10.0万；角色：项目负责人；广东省自然科学基金）。,