沈逸江

个人信息Personal Information

硕士生导师

教师拼音名称:shenyijiang

出生日期:1976-05-16

入职时间:2014-04-17

所在单位:自动化学院

学历:博士研究生毕业

性别:男

学位:哲学博士学位

在职信息:在职

研究方向

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计算光刻

光刻系统成像模型、光学临近校正算法和分辨率增强技术