招生学院：机电工程学院
招生专业：机械电子
硕士研究生-研究方向：应用于半导体装备制造的纠偏对位系统和软着陆设计
招生年份：2024
招生类型：硕士研究生招生
所属学科：机械工程
招生人数：1