对位纠偏
该方向来源于半导体制造过程中的共性需求，对位纠偏系统包括XY平台，ZTTθ（Z-Tip-Tilt-θ）和机器视觉，涉及到机构优化设计，宏微复合运动控制，视觉伺服和视觉检测等方向。
魏玉章 讲师（高校）
魏玉章，男，汉，博士、校聘副教授，广东工业大学“青年百人”A类高层次引进人才，澳门科学技术发展基金专项资助博士后。本科毕业于哈尔滨工业大学，并于2014年毕业后入选教育部与澳门大学合作项目，保送至澳门大学攻读读硕士和博士学位。师从微纳领域顶级专家、ASME Fellow 徐青松教授，并2021年5月于澳门大学获得机电工程专业博士学位。长期从事柔性机构、微纳操作装备研发，并成功应用在细胞显微注射和恒力抛光打磨中。主持...Detials
该方向来源于半导体制造过程中的共性需求，对位纠偏系统包括XY平台，ZTTθ（Z-Tip-Tilt-θ）和机器视觉，涉及到机构优化设计，宏微复合运动控制，视觉伺服和视觉检测等方向。