潘继生Jisheng PAN

博士生导师 硕士生导师

所在单位:机电工程学院

在职信息:在职

研究方向

当前位置: 中文主页 >>研究方向

光电晶片平坦化加工工艺

单晶SiC、GaN、蓝宝石等新一代光电晶片的加工方法与工艺研究。