广东工业大学教师主页平台管理系统魏玉章--中文主页-- 对位纠偏

魏玉章

副教授

入职时间：2023-04-24

所在单位：机电工程学院

在职信息：在职

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该方向来源于半导体制造过程中的共性需求，对位纠偏系统包括XY平台，ZTTθ（Z-Tip-Tilt-θ）和机器视觉，涉及到机构优化设计，宏微复合运动控制，视觉伺服和视觉检测等方向。