广东工业大学教师主页平台管理系统潘继生--中文主页-- (35) 潘继生,卓志佳,阎秋生. 一种半导体基片用声光磁复合抛光装置及抛光方法[P]. CN110948293A,2020-04-03.

@广东工业大学|

+

个人信息

潘继生Jisheng PAN

硕士生导师

所在单位：机电工程学院

在职信息：在职

同专业硕导

专利

当前位置: 中文主页 >> 科学研究 >> 专利

(35) 潘继生,卓志佳,阎秋生. 一种半导体基片用声光磁复合抛光装置及抛光方法[P]. CN110948293A,2020-04-03.

发布时间：2021-03-07 点击次数：

是否职务专利：否

上一条：(34) 潘继生,蔡志航,阎秋生,罗斌. 一种动态磁场磁流变抛光装置及抛光方法[P]. CN111069984A,2020-04-28. 下一条：(36) 潘继生,张棋翔,邓家云,阎秋生. 一种电芬顿集群磁流变复合研磨抛光装置及方法[P]. CN110900322A,2020-03-24.