广东工业大学教师主页平台管理系统潘继生--中文主页-- (14) 潘继生，陈森凯，路家斌，阎秋生. 一种单晶半导体基片的截面快速制作及亚表面微裂纹检测方法[P].2016.1.20，授权发明专利，ZL201310643511.0

@广东工业大学|

+

个人信息

潘继生Jisheng PAN

硕士生导师

所在单位：机电工程学院

在职信息：在职

同专业硕导

专利

当前位置: 中文主页 >> 科学研究 >> 专利

(14) 潘继生，陈森凯，路家斌，阎秋生. 一种单晶半导体基片的截面快速制作及亚表面微裂纹检测方法[P].2016.1.20，授权发明专利，ZL201310643511.0

发布时间：2021-03-07 点击次数：

是否职务专利：否

上一条：(13) 潘继生，阎秋生，路家斌，王威. 磁流变效应粘弹性夹持的电瓷基片柔性研抛装置及方法[P]. 2015.12.23，授权发明专利，ZL201210553510.2 下一条：(15) 彭泽光，高伟强，阎秋生，潘继生. 一种制袋膜片变相对切恒张力送膜装置[P]. 2013.11.13，授权发明专利，ZL201210005482.0